[发明专利]强度测量方法和样品有效
| 申请号： | 202011312363.0 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN112630048B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 王超;饶少凯;徐齐 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N3/20 | 分类号： | G01N3/20;G01N3/24;G01N3/08;G01N3/42;G01Q60/00;G01N23/2251;H01L21/66;H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 李洋;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种强度测量方法和样品。其中，所述方法包括：通过提供待测半导体结构；选择所述待测半导体结构中的具有目标尺寸的部分区域作为待测试区域；去除待测试区域下方的部分结构，以使所述待测试区域悬空；对所述待测试区域施加载荷；确定所述待测试区域被破坏时，保存当前施加的载荷值；利用保存的载荷值，分析待测试区域的机械强度。 | ||
| 搜索关键词： | 强度 测量方法 样品 | ||
【主权项】：
暂无信息
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