[发明专利]一种利用超快激光制备铜基超疏液自清洁表面的方法有效
申请号: | 202011315739.3 | 申请日: | 2020-11-21 |
公开(公告)号: | CN112427811B | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 王文君;张祎霖;梅雪松;孙小云;陈同;崔健磊 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | B23K26/352 | 分类号: | B23K26/352;B23K26/60;C23F4/00 |
代理公司: | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人: | 贺建斌 |
地址: | 710049 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: |
一种利用超快激光制备铜基超疏液自清洁表面的方法,铜基超疏液自清洁表面包括以周期分布在铜基表面的微米圆锥,在微米圆锥结构之间分布有次级栅格,在微米圆锥表面分布有密集生长的纳米颗粒,微米圆锥、次级栅格、纳米颗粒构成三维三级微纳结构;方法是先将铜样品表面进行抛光预处理,然后使用超快激光对抛光预处理后的铜抛光样品进行进行加工,规划多光斑成组的加工路径,实现三维三级微纳结构的一步制备以及对微米圆锥间距的调控;最后利用深等离子刻蚀机使用C |
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搜索关键词: | 一种 利用 激光 制备 铜基超疏液 清洁 表面 方法 | ||
【主权项】:
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