[发明专利]一种利用超快激光制备铜基超疏液自清洁表面的方法有效

专利信息
申请号: 202011315739.3 申请日: 2020-11-21
公开(公告)号: CN112427811B 公开(公告)日: 2021-12-28
发明(设计)人: 王文君;张祎霖;梅雪松;孙小云;陈同;崔健磊 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: B23K26/352 分类号: B23K26/352;B23K26/60;C23F4/00
代理公司: 西安智大知识产权代理事务所 61215 代理人: 贺建斌
地址: 710049 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 一种利用超快激光制备铜基超疏液自清洁表面的方法,铜基超疏液自清洁表面包括以周期分布在铜基表面的微米圆锥,在微米圆锥结构之间分布有次级栅格,在微米圆锥表面分布有密集生长的纳米颗粒,微米圆锥、次级栅格、纳米颗粒构成三维三级微纳结构;方法是先将铜样品表面进行抛光预处理,然后使用超快激光对抛光预处理后的铜抛光样品进行进行加工,规划多光斑成组的加工路径,实现三维三级微纳结构的一步制备以及对微米圆锥间距的调控;最后利用深等离子刻蚀机使用C4F8气体对加工的铜基样品进行低表面能修饰,得到具有三维三级微纳结构的铜基超疏液自清洁表面;本发明工艺简单,成本较低,制备的材料表面可获得长期稳定的、对多种液体实现超疏液性能。
搜索关键词: 一种 利用 激光 制备 铜基超疏液 清洁 表面 方法
【主权项】:
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