[发明专利]一种利用超快激光制备铜基超疏液自清洁表面的方法有效
| 申请号： | 202011315739.3 | 申请日： | 2020-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN112427811B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 王文君;张祎霖;梅雪松;孙小云;陈同;崔健磊 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B23K26/352 | 分类号： | B23K26/352;B23K26/60;C23F4/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
一种利用超快激光制备铜基超疏液自清洁表面的方法，铜基超疏液自清洁表面包括以周期分布在铜基表面的微米圆锥，在微米圆锥结构之间分布有次级栅格，在微米圆锥表面分布有密集生长的纳米颗粒，微米圆锥、次级栅格、纳米颗粒构成三维三级微纳结构；方法是先将铜样品表面进行抛光预处理，然后使用超快激光对抛光预处理后的铜抛光样品进行进行加工，规划多光斑成组的加工路径，实现三维三级微纳结构的一步制备以及对微米圆锥间距的调控；最后利用深等离子刻蚀机使用C |
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| 搜索关键词： | 一种 利用 激光 制备 铜基超疏液 清洁 表面 方法 | ||
【主权项】：
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