[发明专利]一种具有热循环服役能力的自润滑纳米结构薄膜材料及其制备方法在审
| 申请号： | 202011316934.8 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN112501556A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 鞠洪博;周锐;喻利花;许俊华;钱俊宏 | 申请（专利权）人： | 江苏科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/32;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 杭行 |
| 地址： | 212003*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及硬质薄膜材料领域，具体涉及一种具有热循环服役能力的自润滑纳米结构薄膜材料，该材料由四种纳米结构调制层交替沉积获得：一种调制层是SiNx‑SMe层（SMe为软金属），位于每一调制周期的最底部，由非晶SiNx和纳米晶SMe两相组成，呈现非晶包裹纳米晶的微结构；另一种调制层是MoxN层；第三种调制层是SiNx‑MoxN层，其位于SiNx‑SMe层和MoxN层之间，由SiNx和MoxN两相构成；第四种调制层是MoxN‑SiNx层，其位于最顶层，由SiNx和MoxN两相构成。本发明的有效果为：通过相互的协同作用使薄膜在保证室温到高温宽温域自润滑性能的前提下，具有优异的热循环服役能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 循环 服役 能力 润滑 纳米 结构 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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