[发明专利]一种厚膜声表面波滤波器干法刻蚀工艺方法在审
| 申请号： | 202011319693.2 | 申请日： | 2020-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN112600530A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 景苏鹏;张雪奎 | 申请（专利权）人： | 景苏鹏 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/64 |
| 代理公司： | 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家港经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种厚膜声表面波滤波器干法刻蚀工艺方法，包括以下步骤：S1、将声表器件放入等离子刻蚀腔体内；S2、抽真空；3、往等离子刻蚀腔体内通入45‑55sccm的BCl |
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| 搜索关键词： | 一种 厚膜声 表面波 滤波器 刻蚀 工艺 方法 | ||
【主权项】：
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