[发明专利]集成于PCB上的压电致动微驱动器的制备方法有效
| 申请号： | 202011323002.6 | 申请日： | 2020-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN112420916B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 王令;王文斌;李涛;邹光南 | 申请（专利权）人： | 东方红卫星移动通信有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01L41/31;F04B43/04 |
| 代理公司： | 重庆辉腾律师事务所 50215 | 代理人： | 王海军 |
| 地址： | 401120 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及微流体机械技术领域，具体是集成于PCB上的压电致动微驱动器的制备方法，所述制备方法包括对PCB泵体进行清洗，去除泵体上的杂质；对泵体的上下表面进行图形化处理；在泵体上刻蚀有沉孔，并将该沉孔的底部进行截切打磨，形成泵腔；从泵腔的截切面向下刻蚀有两个通孔，分别作为进液口和出液口；再次对开凿后的泵体进行清洗，并保持干燥；在位于泵腔外沿的泵体表面固定有一层圆环形焊盘；在圆盘形焊盘上方焊接有相应的圆盘形压电单晶执行器；将压电单晶执行器的负极与系统电源地相连，将压电陶瓷表面通过导线引出与系统电源正极相连。本发明所制备的压电致动微驱动器经过PCB电装工艺焊接而成，构成的腔室与流道密封性好。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 pcb 压电 致动微 驱动器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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