[发明专利]一种氮化镓微波整流肖特基二极管及制备方法有效
| 申请号： | 202011324390.X | 申请日： | 2020-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN112397576B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 李杨;敖金平 | 申请（专利权）人： | 宁波铼微半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/41 | 分类号： | H01L29/41;H01L29/47;H01L21/329;H01L29/872 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 李园园 |
| 地址： | 315000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氮化镓微波整流肖特基二极管及制备方法，该肖特基二极管包括：肖特基阳极，肖特基阳极包括至少两个并列的指型结构及至少一个肖特基金属连接部，相邻两个指型结构的同一侧端部通过肖特基金属连接部相连接，指型结构和肖特基金属连接部共同构成肖特基结。该二极管的肖特基阳极采用肖特基金属连接部将独立的指型结构连接，可以平衡指型结构之间的电位，降低了二极管的电阻；由于多个肖特基金属连接部引入多个馈电点，多个馈电点的引入降低了二极管的电阻，采用多个指型结构可以在电阻保持不变的情况下缩小阳极面积，从而降低了二极管结电容；进而二极管的串联电阻和结电容都得到了改善，使得二极管更适合在微波频段使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 微波 整流 肖特基 二极管 制备 方法 | ||
【主权项】：
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