[发明专利]一种开关元件的制备方法、阵列基板的制备方法和显示面板有效
| 申请号： | 202011327088.X | 申请日： | 2020-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN112530810B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 林春燕;卓恩宗;郑浩旋 | 申请（专利权）人： | 北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/336 | 分类号： | H01L21/336;H01L27/12;H10K59/12 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛 |
| 地址： | 536000 广西壮族自治区北海市工业园区北海大*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种开关元件的制备方法、阵列基板的制备方法和显示面板，所述开关元件的制备方法包括步骤：在衬底上形成具有第一宽度的多晶硅层；在多晶硅层上依次形成栅极绝缘层、栅极金属层和蚀刻阻挡层，所述栅极金属层具有一第二宽度，所述蚀刻阻挡层具有一第三宽度；对多晶硅层进行第一次离子注入形成过渡掺杂区；对蚀刻阻挡层进行灰化处理，得到具有第四宽度的蚀刻阻挡层；进行第二次离子注入，形成重掺杂区、未掺杂区和轻掺杂区；所述第四宽度大于等于所述第二宽度；通过增加蚀刻阻挡层，改变蚀刻阻挡层的宽度完成梯度离子注入，可以减少光罩，且栅极层宽度大于等于多晶硅层宽度，可以改善短沟道效应。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 开关 元件 制备 方法 阵列 显示 面板 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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