[发明专利]一种基于MEMS技术的压电式柔性超声换能器及制备方法在审
| 申请号： | 202011327309.3 | 申请日： | 2020-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN112604930A | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 王文;王威;祝志刚 | 申请（专利权）人： | 光奥科技（武汉）有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 武汉瑞创星知识产权代理事务所(普通合伙) 42274 | 代理人： | 叶小勤 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS技术的压电式柔性超声换能器及制备方法，该压电式柔性超声换能器包含柔性基底，柔性基底上设置一层底电极，底电极上设置一层压电层，压电层上设置多个表电极，所述多个表电极被划分为两组，每组中的各表电极之间通过导电引线电性连接，且各组的表电极上分别电性连接一根信号输出线，每组的其中一个表电极上分别设置有声阻抗匹配层。本发明中超声换能器具有柔性基底，柔韧性好，应用范围广，采用溅射技术直接生成金属掺杂的ZnO压电薄膜作为压电层，工艺简单，各表电极制作在同一压电层上，制作工艺简单，并可大规模列阵集成化，提高压电换能器的应用能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 技术 压电 柔性 超声 换能器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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