[发明专利]单向导通控制装置有效

专利信息
申请号: 202011329293.X 申请日: 2020-11-24
公开(公告)号: CN112361062B 公开(公告)日: 2022-10-21
发明(设计)人: 姚晶;韩子迦 申请(专利权)人: 北京北方华创微电子装备有限公司
主分类号: F16K31/124 分类号: F16K31/124;F16K15/18;F16K15/06;F16K15/14;F16K47/02;F15B13/02;F15B13/044;F15B21/00
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 彭瑞欣;王婷
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种单向导通控制装置,包括单向导通组件、气动部件、调气组件、第一进气管路和气源,其中,单向导通组件包括单向导通腔体和密封部件,单向导通腔体具有进入口和排出口;密封部件位于单向导通腔体内;气动部件的驱动端与密封部件连接,用于驱动密封部件在单向导通腔体内沿进入口的轴向升降,以密封或者打开进入口;气源通过第一进气管路与气动部件连通,气源用于向驱动端提供驱动力;调气组件包括调压阀,调压阀设置于第一进气管路上,并位于气动部件和气源之间,用于通过调节调压阀的气压,来调整密封部件对进入口的压力。本发明提供的单向导通控制装置,其能够对单向导通的压力进行调节,以降低选型难度,提高通用性和使用灵活性。
搜索关键词: 向导 控制 装置
【主权项】:
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