[发明专利]一种激光三角位移传感器及其测量方法在审
| 申请号： | 202011329630.5 | 申请日： | 2020-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN112485805A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 杜劲松;李兴强;丛日刚;白珈郡;崔昊;褚云凯 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | G01S17/48 | 分类号： | G01S17/48 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 王倩 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光三角位移传感器及其测量方法，包括以下步骤：激光器发射激光束至反射镜，反射镜将激光束反射至物体表面；经物体表面反射的激光束通过透镜聚焦，使聚焦之后的激光束在位置传感器接收面形成光斑；PSD传感器进行光电转换，并通过信号处理模块转换成表示物体位置的信息。本发明主要针对空间尺寸狭小的孔类零件、平行平板或其他复杂机械结构的内尺寸测量。其外形尺寸小，具有良好的通用性、便携性，可实现微小尺寸的高精度、高效率测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 三角 位移 传感器 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
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