[发明专利]一种谐振式微机械加速度计及其控制方法有效
| 申请号： | 202011332466.3 | 申请日： | 2020-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN112485469B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 马志鹏;金一鸣;张琰珺;金仲和;郑旭东 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097;G01P15/125;G01P15/08 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 郑海峰 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种谐振式微机械加速度计及其控制方法，属于加速度测量技术领域。质量块在受到水平敏感方向上的加速度时，发生位移变化并通过位移检测电容和CV电路转化成电压变化，该电压变化可以表征外界加速度变化；另一方面，质量块在水平方向的位移同样引起三角形调谐电容交叠面积变化，从而改变三角形调谐电容在垂直方向的静电负刚度大小，因此质量块在垂直方向上的谐振频率发生偏移，通过频率偏移变化可以从另外一个角度表征外界加速度变化，还可以通过调节三角形调谐电容的控制电压变化来补偿频率偏移，该控制电压变化也可以用来反映加速度大小，实现闭环。本发明具有两种互补检测方式，可应用于多种场合的加速度信号检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振 式微 机械 加速度计 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011332466.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种燃烧稳定性裕度评估方法
- 下一篇：一种植物护肤品的制备工艺
