[发明专利]具有钨电极的体声波谐振器、滤波器及电子设备在审
| 申请号： | 202011332928.1 | 申请日： | 2020-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN114553178A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;张孟伦;宁远 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：所述压电层为掺杂压电层；且所述顶电极和/或底电极为含有金属钨的钨电极。所述顶电极和/或底电极为由金属钨制成的单层电极或者由钨合金制成的单层电极。或者所述顶电极和/或底电极为叠层电极，所述叠层电极包括叠置的不同材质的至少两层电极层，所述至少两层电极层至少包括一层钨电极层，所述钨电极层为由金属钨制成的电极层或者由钨合金制成的电极层。本发明还涉及一种具有上述谐振器的滤波器以及具有该滤波器或谐振器的电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 电极 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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