[发明专利]直接键合有吸气剂材料的薄密封层的制造检测装置的方法在审
| 申请号： | 202011341296.5 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN112968072A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 塞巴斯蒂安·贝克尔;弗兰克·富尔内尔 | 申请（专利权）人： | 原子能和替代能源委员会 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/115;H01L31/0203;H01L23/26 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 谢攀;刘继富 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造热检测器(1)的方法，包括以下步骤：形成第一堆叠件(10)，其包括热检测器(20)、矿物牺牲层(15)和具有横向进出口(17.1)的薄封装层(16)；形成第二堆叠件(30)，其包括薄密封层(33)和吸气剂部分(34)；消除矿物牺牲层(15)；通过直接键合来组装薄密封层(33)，使其与薄封装层(16)接触并堵塞横向进出口(17.1)，吸气剂部分(34)位于横向进出口(17.1)中。 | ||
| 搜索关键词： | 直接 键合有 吸气 材料 密封 制造 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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