[发明专利]一种基于薄膜键合的可调谐FP滤光片的制备方法在审
| 申请号： | 202011341605.9 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN112499582A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 张云霄;孙文宝 | 申请（专利权）人： | 天津津航技术物理研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81C3/00;G02F1/21 |
| 代理公司： | 中国兵器工业集团公司专利中心 11011 | 代理人： | 周恒 |
| 地址： | 300308 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明属于薄膜光谱滤波器制备工艺技术领域，具体涉及一种基于薄膜键合的可调谐FP滤光片的制备方法，包括以下步骤：①下金属反射层制作：基底采用热蒸发或离子束溅射镀膜方法制备FP滤波器下金属反射层；②铌酸锂薄膜通光层制备：采用离子注入、键合剥离方法制备；③上金属反射层制备：采用磁控溅射的方法制备；④上金属反射电极图形化制备：采用光刻、离子束刻蚀工艺制作上金属电极结构，完成可调谐FP滤光片制作。本发明方法克服了现有滤光片中心波长难以调谐的问题，且制作工艺简单，易于调控，可实现线列、瓦片式多谱段滤光片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 薄膜 调谐 fp 滤光 制备 方法 | ||
【主权项】：
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