[发明专利]一种MEMS电感式压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202011341948.5 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112683428B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 李维平;侯鸿道;兰之康 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210046 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种MEMS电感式压力传感器及其制备方法，该压力传感器包括：堆叠的第一衬底和第二衬底；压力敏感膜，设置在所述第一衬底的上表面；第一凹槽，设置在所述第一衬底的下表面，与所述压力敏感膜相对；铁磁芯，设置在所述压力敏感膜的下表面，位于所述第一凹槽中；第二凹槽，设置在所述第二衬底的上表面，与所述第一凹槽形成真空腔；第三凹槽，环绕并间隔所述第二凹槽设置在所述第二衬底的下表面；电感线圈层，设置在所述第二衬底的下表面。该传感器结构简单、线性度优、灵敏度高、温漂小、应用场景宽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 电感 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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