[发明专利]通过和频振动光谱对样品的扫描表面成像的表面感测系统和方法在审
| 申请号： | 202011342431.8 | 申请日： | 2017-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112557367A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | J·H·亨特;J·史;J·P·尚加拉 | 申请（专利权）人： | 波音公司;菲拓梅里克斯公司 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;G01J3/10;G01N21/63 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 尚晓芹 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了通过和频振动光谱对样品(30)的扫描表面(32)成像的表面感测系统和方法。系统包括样品支架(20)、可见光源(40)和可调节IR光源(50)，可见光源配置为引导可见光束(42)入射在扫描表面(32)的采样位置(34)上，可调节IR光源配置为引导可调节IR光束(52)与可见光束(42)在采样位置(34)上重合。系统还包括扫描结构(60)和滤光器(70)，扫描结构配置为横跨扫描表面(32)扫描可见光束(42)和可调节IR光束(52)，滤光器配置为从扫描表面(32)接收发射光束(38)并且对发射光束(38)滤光以生成滤光光束(72)。系统进一步包括光检测系统(80)和对准结构(90)，光检测系统配置为接收滤光光束(72)。方法包括操作该系统的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 振动 光谱 样品 扫描 表面 成像 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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