[发明专利]一种梯形梳齿、静电梳齿驱动器及MEMS扫描镜在审
| 申请号： | 202011343335.5 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN112255781A | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 郭俊兴;杜先鹏;金传广 | 申请（专利权）人： | 苏州小优智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京金硕果知识产权代理事务所(普通合伙) 11259 | 代理人： | 郝晓霞 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种梯形梳齿，所述梯形梳齿的根部宽度大于头部宽度，且所述梯形梳齿的宽度从梯形梳齿根部到梯形梳齿头部单调减小。梯形梳齿设计，其梳齿根部的宽度大于梳齿头部宽度，在保持梳齿平均宽度不变的情况下，可以大幅度增加梳齿根部的刚度；在芯片尺寸一定的情况下，采用本发明的梯形状梳齿结构，相较于现有技术中的矩形梳齿结构，可以大幅度提高梳齿驱动器的驱动扭矩、增大驱动角度，或者减小芯片尺寸、降低驱动电压，大幅度提高芯片的技术性能、降低芯片的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 梯形 梳齿 静电 驱动器 mems 扫描 | ||
【主权项】：
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