[发明专利]一种COF曝光机内玻璃掩模版的异物检测和清除的方法有效
| 申请号： | 202011343986.4 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112394621B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 戚爱康;计晓东;孙彬;沈洪;李晓华 | 申请（专利权）人： | 上达电子（深圳）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京博识智信专利代理事务所(普通合伙) 16067 | 代理人： | 徐佳慧 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市宝安区沙井街道黄*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种COF曝光机内玻璃掩模版的异物检测和清除的方法，采用精密异物检测装置和异物清除装置，对COF曝光机内玻璃掩模版进行异物检测和异物清除；异物检测由入射光源发射入射光对玻璃掩模版进行照射，玻璃掩模版上的异物被照射后反射光生成异物坐标数据，将数据传输到处理器；异物清除采用异物清除装置，异物清除装置读取精密异物检测装置传出的数据，进行定点清除异物，由强力去静电离子风扇对异物进行吹风和静电去除，被去除静电的异物没有黏附性，同时异物吸取器强力把异物吸走，通过异物过滤器过滤后被异物储存器储存槽储存。本发明内置于曝光机内部，进行检测和清洁时不需要拆卸玻璃掩模版，能对小于1um的异物进行检测去除。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cof 曝光 玻璃 模版 异物 检测 清除 方法 | ||
【主权项】：
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