[发明专利]一种基于双层压电膜的直线型驱动器在审
| 申请号： | 202011344010.9 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112532104A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 秦风 | 申请（专利权）人： | 成都度控科技有限公司 |
| 主分类号： | H02N2/08 | 分类号： | H02N2/08;H02N2/06;H02N2/04;H02N2/00;H01L41/09 |
| 代理公司： | 成都聚蓉众享知识产权代理有限公司 51291 | 代理人： | 张辉 |
| 地址： | 610000 四川省成都市高*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提出一种基于双层压电膜的直线型驱动器，通过薄膜沉积工艺在基底正表面依次沉积下电极、下压电膜、中间电极、上压电膜和上电极形成多层结构；利用刻蚀工艺对所述多层结构进行光刻及图形化，形成多根形状、尺寸相同的条形驱动单元；采用深刻蚀工艺对基底背部加深槽反应离子刻蚀和/或湿法腐蚀，将基底的厚度减薄至预设厚度以下，制备出背部腔体以及形成驱动振膜，获得基于双层压电膜的直线型驱动器。本发明每一层压电致动材料厚度可控制在百纳米至数微米范围，能有效降低器件整体厚度。此外，本发明的制备工艺与标准MEMS产线完全兼容，具备批量化生产能力。因此，本发明能解决压电直线型电机的小型化、薄型化和批量化问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 双层 压电 线型 驱动器 | ||
【主权项】：
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