[发明专利]应用于双面抛光设备的物料管理方法、系统及存储介质有效
申请号: | 202011344635.5 | 申请日: | 2020-11-26 |
公开(公告)号: | CN112388496B | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
发明(设计)人: | 李昀泽 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B27/00;B24B51/00;B24B41/06;G06K17/00 |
代理公司: | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人: | 李斌栋;姚勇政 |
地址: | 710065 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种应用于双面抛光设备的物料管理方法、系统及存储介质;该系统包括:在双面抛光设备的定盘外围固定设置的红外标签阅读器、控制器以及设置在承载盘的能被红外探测到的标签;其中,所述红外标签阅读器,经配置为当所述双面抛光设备停机下料时,在探测范围内检测是否存在目标标签,并将检测结果传输至所述控制器;所述控制器,经配置为相应于所述检测结果表征未检测到目标标签,向所述双面抛光设备发送复位指令;其中,所述复位指令用于指示所述双面抛光设备针对所述承载盘的位置进行初始化以使得所述承载盘恢复到正确位置。 | ||
搜索关键词: | 应用于 双面 抛光 设备 物料 管理 方法 系统 存储 介质 | ||
【主权项】:
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