[发明专利]用于立式炉的炉门组件和立式炉有效
| 申请号： | 202011346189.1 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112503944B | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 任中;孙晋博;杨帅 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/18 | 分类号： | F27D1/18;F27D1/12;F27B17/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于立式炉的炉门组件，包括炉门本体和封装板，炉门本体具有用于密封立式炉工艺腔室开口的密封面和与密封面相对的散热面，散热面上形成有冷却液槽，封装板覆盖冷却液槽形成用于冷却液流通的通道，散热面上还形成有散热区域，散热区域位于冷却液槽之外的区域，用于增加散热面与空气的热交换面积。在本发明中炉门本体同时通过冷却液槽和散热区域散热，提高了炉门本体各区域温度的均匀性，能够避免各区域之间因温差过大产生的应力对炉门本体造成侵害，还能够降低半导体工艺的副产物集中附着在冷却液槽区域的速率，进而降低附着物腐蚀炉门本体的速率，提高了炉门组件的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 立式 炉门 组件 | ||
【主权项】：
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