[发明专利]DFM综合评分方法在审
| 申请号： | 202011347795.5 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112487737A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 程玮;朱忠华;魏芳 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/30 | 分类号： | G06F30/30;G06F119/18 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种DFM综合评分方法，包括：对量产产品的各项检查项目的异常风险度和异常发生度进行评分，得到各项检查项目的第一风险度分数、第一发生度分数和第一权重；根据所述权重、第一风险度分数和第一发生度分数得到第一总分数，分析第一总分数和良率的相关性，根据良率要求制定出管控标准；对所述待测产品的各项检查项目的异常风险度和异常发生度进行评分，求得待测产品的各项检查项目的第二风险度分数和第二发生度分数和第二权重；并得到第二总分数；判断第二总分数是否达到管控标准。对待测产品的各检查项目进行打分综合的评分，从而全面对DFM检查结果进行总结，找出方便后续晶圆质量检测的关联性分析。 | ||
| 搜索关键词： | dfm 综合 评分 方法 | ||
【主权项】：
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