[发明专利]一种用于集成微型热电换能器件的装置与方法在审
| 申请号： | 202011349524.3 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN114551710A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 邰凯平;赵洋;乔吉祥;孙东明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | H01L35/34 | 分类号： | H01L35/34 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体器件领域，具体涉及一种用于集成微型热电换能器件的装置与方法。该装置的减震支撑基座设有大理石支架和减震平台，大理石支架放置在减震平台上；显微识别定位系统固定在大理石支架和减震平台上，转移吸附系统固定在大理石支架上，供料器、基板样品台和控制器固定在减震底座，热电粒子和上电极基板放置在供料器上，下电极基板固定在基板样品台上；控制器通过数据线与显微识别定位系统、转移吸附系统和基板样品台的互连，并实现各部分的集中控制和联动过程。本发明可以成功将小尺寸的热电粒子以较高的定位精度转移到下电极基板上，实现P型和N型热电粒子的图形化排列，进而实现热电器件的电串联和热并联。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 集成 微型 热电 器件 装置 方法 | ||
【主权项】：
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