[发明专利]真空压力计的寿命提升装置和方法有效
| 申请号： | 202011354251.1 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112460285B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 高伟;曾军;高峰 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | F16K11/00 | 分类号： | F16K11/00;F16K11/20;F16K37/00;B08B9/032;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空压力计的寿命提升装置，包括：三通阀和控制单元；三通阀的第一接口和抽气管路相连，第二接口连接真空压力计，第三接口连接冲洗气体；三通阀的第二接口具有常开控制阀，第三接口具有常关控制阀；控制单元控制常开控制阀和常关控制阀的工作，包括控制进行固态生成物清除步骤，在固态生成物清除步骤中，常开控制阀关闭以及常关控制阀打开，冲洗气体流动将生长工艺产生的固态生成物清除出三通阀内部区域并被抽气管路抽掉。本发明还公开了一种真空压力计的寿命提升方法。本发明能防止真空工艺腔的生长工艺中产生固态生成物沉积在设置在抽气管路的真空压力计的接口上，从而能提高真空压力计的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 压力计 寿命 提升 装置 方法 | ||
【主权项】：
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