[发明专利]一种离子束沉积设备的冷却辊在审
| 申请号： | 202011358107.5 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112481583A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 廖斌;庞盼;王国梁;罗军;陈琳 | 申请（专利权）人： | 廖斌;广东省广新离子束科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/56;C23C14/48 |
| 代理公司： | 广州圣理华知识产权代理有限公司 44302 | 代理人： | 董觉非;张凯 |
| 地址： | 510663 广东省广州市黄*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子束沉积设备的冷却辊，涉及离子束镀膜领域。该方案包括中空的辊体，所述辊体由外至内依次包括表面导电层、绝缘导热层以及冷却腔，所述表面导电层携带负电荷，所述冷却腔内循环通入、排出冷却流体，或者在所述冷却腔内设置固体冷却介质，所述辊体还包括支撑轴部，所述支撑轴部与所述绝缘导热层固定。在冷辊表面均匀施加电场，改变系统的电场分布，提高镀膜质量，通过绝缘导热层将冷却腔与表面导电层隔离开，支撑轴部与绝缘导热层固定，将表面导电层与冷却腔、支撑轴隔离，能对薄膜进行冷却，并降低触电的风险，消除安全隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子束 沉积 设备 冷却 | ||
【主权项】：
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