[发明专利]一种工件旋转装置和离子束物理气相沉积装置

摘要

本发明提出了一种工件旋转装置，包括机架、驱动装置、公转旋转部和自转旋转部，驱动装置固定设置于机架上，自转旋转部包括传动轮、多个从动轮和多个工件夹具，多个工件夹具分别固定于多个从动轮上，多个从动轮分别与传动轮传动配合，驱动装置与公转旋转部连接，自转旋转部固定于公转旋转部上，且自转旋转部和公转旋转部之间设置有两对中心轴相互垂直且两两啮合的锥齿轮，其中输入锥齿轮设置于公转旋转部的中心，与其相对的输出锥齿轮与传动轮连接，另一对行星锥齿轮设置于公转旋转部的支架上。并将其应用至离子束物理气相沉积装置中，在提高了加工效率的同时，也能使工件表面更加均匀的进行离子束的物理沉积，进而保证工件的表面加工质量。