[发明专利]一种多场耦合材料加工装置在审
| 申请号： | 202011360120.4 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112563408A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 姚沛林;王盛凯;占敏杰;王英辉 | 申请（专利权）人： | 昆山微电子技术研究院 |
| 主分类号： | H01L41/45 | 分类号： | H01L41/45;H01L41/253;H01L41/257;H01L41/335 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种多场耦合材料加工装置，包括：加工腔体，所述加工腔体具有加工内腔；用于储存待加工材料，并能够进出所述加工腔体的储料件；能够对位于所述加工内腔中的所述待加工材料施加压力的施力系统；能够加热位于所述加工内腔中的所述待加工材料，以使所述待加工材料具有不同温度的温度系统；能够对位于所述加工内腔中的所述待加工材料施加电场的电场系统；能够改变所述加工内腔的气氛状态，以使位于所述加工内腔中的所述待加工材料处于不同气氛环境的气氛系统。上述的多场耦合材料加工装置，能够在加工过程中对待加工材料同时施加多个物理场，避免了待加工材料在不同设备之间的转移，提高了产品的良率和性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耦合 材料 加工 装置 | ||
【主权项】：
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