[发明专利]波导探测器及其制备方法在审
| 申请号： | 202011362446.0 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112525232A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 李鸿建;张翼菲 | 申请（专利权）人： | 武汉云岭光电有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 胡建文 |
| 地址： | 430223 湖北省武汉市东湖新技术开发*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及波导探测器技术领域，提供了一种波导探测器，包括衬底，于所述衬底上依次设有波导层和吸收层，所述波导层沿光传播的方向延伸；所述波导层的光入射端处设有用于将光聚集到所述波导层中的聚焦结构。还提供一种波导探测器的制备方法，包括如下步骤：S1，在衬底上依次制作波导层和吸收层，其中波导层沿着光传播的方向延伸；S2，制作完成后在波导层的光入射端处安置聚焦结构，所述聚焦结构能够将入射来的光聚集然后送至波导层中，进而使得光的耦合效率得到提高。本发明在波导层的光入射端处设聚焦结构，使得光的耦合效率得到极大的提高，吸收层沿入射光的渐扩结构解决了现有技术中前强后弱的情况，同时也避免了波导层前端的光电流过大饱和。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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