[发明专利]一种具有双层屏蔽罩的阴极弧头在审
| 申请号： | 202011363720.6 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112501572A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 廖斌;庞盼;王国梁;罗军;陈琳 | 申请（专利权）人： | 廖斌;广东省广新离子束科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 广州圣理华知识产权代理有限公司 44302 | 代理人： | 董觉非;张凯 |
| 地址： | 510663 广东省广州市黄*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种具有双层屏蔽罩的阴极弧头，涉及离子束产生装置领域。该方案包括固定法兰盘、阴极靶材、触发电极、屏蔽系统、辅助阳极板，屏蔽系统包括第一屏蔽罩以及第二屏蔽罩，第一屏蔽罩与第二屏蔽罩均与阴极靶材同轴设置，且第一屏蔽罩与所述第二屏蔽罩均套于阴极靶材外并与阴极靶材之间保持间距，第一屏蔽罩由导磁材料制成，第二屏蔽罩由非导磁材料制成。设置双层屏蔽罩，对阴极靶材上的弧斑点形成更好的约束，使阴极靶材表面均匀烧蚀，提高阴极靶材的利用率，降低阴极靶材更换的频率，减少对生产的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 双层 屏蔽 阴极 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于廖斌;广东省广新离子束科技有限公司，未经廖斌;广东省广新离子束科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011363720.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种方便进行除垢的平面茶桌
- 下一篇：一种建筑板材打孔定位装置
- 同类专利
- 专利分类
