[发明专利]一种高温抗氧化钽铪碳三元陶瓷碳化物涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 202011365813.2 | 申请日： | 2020-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN112391592A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 张洁;王京阳;吕熙睿;陈丽娜;石金瑜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于表面防护技术领域，具体涉及一种高温抗氧化钽铪碳三元陶瓷碳化物涂层及其制备方法。按原子百分比计，碳化物涂层由下述元素组成，钽15％～30％，铪：30％～45％，碳：40％～50％。通过高通量实验方法筛选出钽铪碳三元化合物体系中抗氧化的成分范围，采用组合磁控溅射方法制备钽铪碳三元化合物结晶态涂层。利用该方法制备的涂层具有良好的抗氧化性能，氧化起始温度高于500℃，优于二元碳化钽和碳化铪，氧化产物高温相稳定优异；相比于其他方法，本发明涉及的制备方法，具有工艺简单、无需陶瓷粉体前驱体和反应气体、涂层成分和显微结构可控、涂层致密等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 氧化 钽铪碳 三元 陶瓷 碳化物 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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