[发明专利]一种硅片干燥装置及其方法在审
| 申请号： | 202011368754.4 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN112460971A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 杨星;李长江;周文彬 | 申请（专利权）人： | 苏州晟成光伏设备有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/14 | 分类号： | F26B15/14;F26B21/00;F26B21/04;F26B21/08;F26B25/00;F26B25/18 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片干燥装置及其方法，该种硅片干燥装置及其方法包括制绒花篮传送装置、第一缓冲腔、第一低压腔、干燥腔、第二低压腔和第二缓冲腔，制绒花篮传送装置用于输送等距排放的装载硅片的制绒花篮，所述制绒花篮传送装置沿传送方向依次设置有第一缓冲腔、第一低压腔、干燥腔、第二低压腔和第二缓冲腔，各腔室之间有双侧门隔开成封闭空间，缓冲腔和低压腔分别与真空系统相连，干燥腔内置有气体过滤还原系统、加热温控系统、气体吹扫系统和水汽冷凝循环系统。通过上述方式，本发明能够将制绒后的硅片及制绒花篮干燥，且避免了干燥过程中由于水汽及氧化性气氛导致的硅片表面氧化，减小了产品制程不良。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 干燥 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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