[发明专利]一种高灵敏精确检测的生物传感器在审
申请号: | 202011368954.X | 申请日: | 2020-11-30 |
公开(公告)号: | CN112485299A | 公开(公告)日: | 2021-03-12 |
发明(设计)人: | 林平;刘彦斌 | 申请(专利权)人: | 刘建平 |
主分类号: | G01N27/00 | 分类号: | G01N27/00;H01L29/735 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 415900 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明涉及一种高灵敏精确检测的生物传感器,包括:体硅衬底;在衬底的至少一部分上形成的第一垂直取向的横向双极结型晶体管(BJT),第一BJT包括第一发射极区,第一集电极区以及在第一发射极和第一集电极区之间的第一外延生长的本征基极区;和在第一BJT的第一本征基极区的两个垂直表面的至少一部分上形成的感测结构,该感测结构包括分别在其第一和第二相对侧上暴露第一本征基极区的第一和第二沟道/沟槽开口;至少一个介电层形成在第一和第二沟道/沟槽开口中并与第一本征基极区的至少一部分接触,该介电层被配置为对生物分子中的电荷作出反应。 | ||
搜索关键词: | 一种 灵敏 精确 检测 生物 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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