[发明专利]一种高灵敏多频段复合式空耦超声换能器及其制备方法有效
| 申请号： | 202011369570.X | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN112517361B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 文虎;吴敏;吴涛;吴子君;秦继朔;张福生;何常德;张文栋;薛晨阳;张斌珍;任勇峰;王红亮;王子渊;孟亚楠 | 申请（专利权）人： | 国网山西省电力公司朔州供电公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;G01R31/12 |
| 代理公司： | 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110 | 代理人： | 赵江艳 |
| 地址： | 036000 山西省朔州市*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及超声换能器技术领域，公开了一种高灵敏多频段复合式空耦超声换能器及其制备方法，包括由下向上依次设置的下电极层、衬底层、薄膜支撑层和薄膜层，所述薄膜支撑层上表面设置有多个空腔组，每个空腔组包括多个空腔，不同空腔组的空腔半径不同，同一组的空腔半径相同，所述薄膜层上表面与所述空腔对应位置分别设置有上电极。本发明结构简单，制作方便，提高了超声换能器的响应带宽，可以广泛应用于局部放电检测领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏 频段 复合 式空耦 超声 换能器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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