[发明专利]一种基于AAO模板的Sb单元素纳米颗粒相变储存器及其制备方法有效
| 申请号： | 202011371102.6 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN112490359B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 程晓敏;曾运韬;靳杰;朱云来;缪向水 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 武汉华之喻知识产权代理有限公司 42267 | 代理人： | 廖盈春;曹葆青 |
| 地址： | 430074 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于微电子器件及存储器技术领域，公开了一种基于AAO模板的Sb单元素纳米颗粒相变储存器及其制备方法；通过引入AAO模板，对Sb单元素相变颗粒在三维尺度上进行限制，提高Sb单元素相变层的非晶稳定性。其制备方法包括：在底电极层上沉积一层金属铝，通过二次阳极氧化方法在未经光刻胶掩模的裸露部分形成多孔氧化铝，并得到纳米尺寸的孔阵列。向纳米孔阵列内填充单元素Sb材料，用化学机械抛光方法控制垂直方向上的尺度，制备顶电极后即可得到基于Sb单元素纳米颗粒的新型相变储存器件。基于AAO模板的Sb单元素纳米颗粒相变储存器彻底消除了常规化合物相变材料多次操作之后出现的成分偏析问题，从根本上解决相变存储器的失效难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 aao 模板 sb 元素 纳米 颗粒 相变 储存器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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