[发明专利]一种用于ESD防护电路的栅极接地场效应管及其制作方法有效
| 申请号： | 202011373648.5 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN112490240B | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 胡涛 | 申请（专利权）人： | 杰华特微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/02 | 分类号： | H01L27/02;H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329 | 代理人： | 唐灵;赵杰香 |
| 地址： | 310030 浙江省杭州市西湖区三墩镇*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出了一种用于ESD防护电路的栅极接地场效应管，包括衬底；形成于衬底上的阱区；位于阱区上的栅极，位于阱区内的源端和漏端，所述源端和漏端位于所述栅极的两侧；其中，所述漏端包括N型重掺区和P型重掺区，所述N型重掺区上连接有漏极，所述N型重掺区与所述P型重掺区构成齐纳二极管，当ESD电流从所述漏极涌入时，所述齐纳二极管发生齐纳击穿，使得所述N型重掺区和所述P型重掺区形成的结区中产生辅助载流子，该辅助载流子使得阱电阻上产生的压降更快达到0.7V，更早触发寄生NPN三极管开启泄放ESD电流。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 esd 防护 电路 栅极 接地 场效应 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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