[发明专利]一种金刚石复合衬底氮化镓器件的制备方法及其器件在审
| 申请号： | 202011375816.4 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN112614880A | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 任泽阳;梁振芳;张金风;苏凯;邢宇菲;杨士奇;许晟瑞;张进成;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/16;H01L29/20;H01L21/02 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金刚石复合衬底氮化镓器件的制备方法及其器件，所述方法包括以下步骤：对第一衬底的第一表面进行刻蚀，形成若干凹槽；在具有若干凹槽的第一表面生长金刚石材料，并使所述金刚石材料填满所述凹槽且覆盖所述第一衬底的第一表面，以形成第二衬底；对所述第一衬底的第二表面进行减薄处理使所述金刚石露出，形成复合衬底；在所述复合衬底上选择性的生长氮化物材料，以形成氮化物缓冲层。本发明通过金刚石与氮化物材料直接接触，避免了在氮化物材料与金刚石之间采用介质层，消除了介质层热阻对氮化镓功率器件的影响，有效解决了氮化镓大功率器件的散热问题，提高了器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 复合 衬底 氮化 器件 制备 方法 及其 | ||
【主权项】：
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