[发明专利]一种机台程式控制方法及装置有效
| 申请号： | 202011375841.2 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN112506149B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 阮厚航;李翠阁;游凯;张鹏真 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 柳虹 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种机台程式控制方法及装置，包括根据机台中各个处理单元对各自的子程式的处理时间，确定出处理单元中处理时间最长的瓶颈单元，在瓶颈单元的程式中加入第一伪子程式，第一伪子程式在瓶颈单元的程式中的至少一个子程式之前被调用，第一伪子程式在被调用时，晶圆通过瓶颈单元而不被瓶颈单元处理，这是因为，在瓶颈单元对晶圆处理的过程中，有些晶圆必须经过该瓶颈单元但是无需被瓶颈单元处理，本申请实施例中，可以在瓶颈单元的程式中增加第一伪子程式，这样堆积的晶圆可以通过瓶颈单元，减少晶圆堆积，提高晶圆处理效率，提高整个机台的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机台 程式 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
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