[发明专利]一种用于铸造旋转靶材的背管及其制作方法有效

专利信息
申请号: 202011376099.7 申请日: 2020-12-02
公开(公告)号: CN112522754B 公开(公告)日: 2022-05-31
发明(设计)人: 胡习光 申请(专利权)人: 江阴恩特莱特镀膜科技有限公司
主分类号: C25D7/04 分类号: C25D7/04;C25D3/12;C25D5/50;C25D5/48;C23C10/24;C23C14/35
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214400 江苏省无锡市江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及旋转靶材制造技术领域,尤其涉及一种用于铸造旋转靶材的背管。包括不锈钢管,所述不锈钢管外部电镀有镍层,所述镍层的厚度为0.005~0.1毫米,所述镍层的表面粗糙度为Ra3.2~Ra6.3,所述镍层的表面有渗锡层。其生产方法为:先对不锈钢管表面进行清洗,之后进行打磨,再将其表面电镀镍层,然后进行退火,之后用酸性溶液对外表面进行处理,接着用渗锡溶液对外表面进行处理,最后将其清洗干净并晾干,得到用于铸造旋转靶材的背管。用本发明的背管生产的旋转靶材杂质较少,并且对磁场的屏蔽作用较小,溅射效果较好。
搜索关键词: 一种 用于 铸造 旋转 及其 制作方法
【主权项】:
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