[发明专利]一种抗LeTID钝化接触太阳能电池及其生产工艺

摘要

本发明涉及太阳能电池制造技术领域，具体涉及一种抗LeTID钝化接触太阳能电池及其生产工艺，所述生产工艺包括(1)制绒；(2)扩散；(3)激光二次扩散；(4)刻蚀水洗；(5)PECVD：在电池正面沉积减反膜；(6)磁控溅射：在电池背面沉积SiC层；(7)背面钝化：在电池背面设置钝化叠层，所述钝化叠层为AlOx+SiNx；(8)背面掺硼、激光开窗：在电池背面旋涂硼源，之后用激光对硼源进行掺杂；(9)丝印烧结。本发明抗LeTID钝化接触太阳能电池采用SiC层阻挡氢向硅沉底迁移，通过对重掺杂、叠层钝化及硼点背场的研究，使电池转化效率达到23.28％，少子寿命达到4500μs。