[发明专利]多功能立式零位重叠扫描干涉测量装置

摘要

本发明公开了一种多功能立式零位重叠扫描干涉测量装置，包括主控单元、驱动控制电路和气浮隔振底座，气浮隔振底座上分别设有立柱和四维运动调整平台，立柱上设有垂直升降轴且垂直升降轴上装有激光波面干涉仪，激光波面干涉仪的光输出通路上设有可拆卸的CGH五维运动组合调整平台，CGH五维运动组合调整平台位于四维运动调整平台的正上方，CGH五维运动组合调整平台、四维运动调整平台的控制端均分别通过驱动控制电路与主控单元相连，激光波面干涉仪的控制端与主控单元相连。本发明能对大口径平面、球面、凸非球面实现高精度、高效率测量，可灵活地对平面、球面以及非球进行零位测量，结合自动化控制实现了大口径光学面形的高效，高精度检测。