[发明专利]一种光致抗蚀剂有效
申请号: | 202011382480.4 | 申请日: | 2020-11-30 |
公开(公告)号: | CN112578633B | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 杜永杰;彭威;杨卫国;邓晓明 | 申请(专利权)人: | 珠海市能动科技光学产业有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027 |
代理公司: | 佛山帮专知识产权代理事务所(普通合伙) 44387 | 代理人: | 颜春艳 |
地址: | 519050 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种光致抗蚀剂,用于PCB、FPC、HDI板、铝箔和复合金属板材的线路制作。尤其是光致抗蚀剂中含有1~20重量份的聚合物组分(A),该聚合物组分(A)为聚碳酸酯(A0)、聚碳酸酯丙烯酸酯(A1)、聚碳酸酯甲基丙烯酸酯(A2)中的至少一种;还包括40~70重量份的线性含羧基(甲基)丙烯酸酯粘合剂(B),0.01~3.0份的流平剂(C),5~20重量份的乙烯基丙烯酸酯类光固化单体(D),0.5~2.0重量份自由基引发剂(E)和0.01~2.0份的染料(F)。本发明在满足光致抗蚀剂基本性能的前提下,可以降低光致抗蚀剂层的厚度。 | ||
搜索关键词: | 一种 光致抗蚀剂 | ||
【主权项】:
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