[发明专利]搬送装置、曝光装置以及物品的制造方法在审
| 申请号： | 202011383185.0 | 申请日： | 2020-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN112904677A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 中岛大辅;薄井克俊;根谷尚稔;千田高弘;金田崇 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及搬送装置、曝光装置以及物品的制造方法。为了提供能够削减追踪处理来提高吞吐量的搬送装置，本发明的搬送装置具备：搬送部，将搬送物搬送至目标位置；测量部，测量搬送部的位置；存储部，存储将搬送物搬送至目标位置时的目标位置与搬送部的位置之间的位置偏移；以及控制部，根据存储于存储部的位置偏移的历史数据计算偏置驱动量，并将偏置驱动量与基准驱动量相加，从而设定搬送部的直至目标位置的驱动量，其特征在于，控制部根据搬送部的直至目标位置的移动距离、移动方向及移动速度、以及搬送装置内的温度、搬送装置内的振动的大小、搬送物的质量、以及搬送装置的运行时间中的至少一个，对历史数据进行运算处理，从而计算偏置驱动量。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 曝光 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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