[发明专利]一种扫描式曝光机的紫外扫描曝光光源及其匀光方法在审
| 申请号： | 202011383560.1 | 申请日： | 2020-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN112305875A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 陈建军;尹韶云;江海波;谭军 | 申请（专利权）人： | 张家港奇点光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家港*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描式曝光机的紫外扫描曝光光源，包括紫外LED光源，紫外LED光源上设置有若干个阵列的紫外LED灯珠，紫外扫描曝光光源还包括用于扫描紫外LED灯珠的发光强度的多模光纤阵列光强探测装置和LED功率反馈控制器，所述多模光纤阵列光强探测装置水平滑动设置于紫外LED灯珠的发光侧，所述多模光纤阵列光强探测装置的输出端与LED功率反馈控制器的输入端电连接，所述LED功率反馈控制器的输出端分别与各紫外LED灯珠电连接。本发明还公开了使用紫外扫描曝光光源的匀光方法，利用多模光纤阵列光强探测装置进行近场光强均匀性检测，并以此检测结果来单独控制某个发光异常的紫外LED灯珠，提高光强的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 曝光 紫外 光源 及其 方法 | ||
【主权项】：
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