[发明专利]一种基于纳米粒子修饰的金刚石薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于纳米粒子修饰的金刚石薄膜及其制备方法。所述纳米粒子修饰的金刚石薄膜以硅基材料、金属材料或者复合材料为基底，在基底上表面溅射金属Ni作为过渡层；在过渡层表面通过化学气相沉积法，合理优化氢气、氩气和甲烷气体的流量、气体压强、基底温度、沉积时间，使膜基上的附着力增强。最后对制备的金刚石薄膜表面进行化学腐蚀，并涂覆纳米二氧化钛粒子，改善金刚石薄膜表面疏水性能和自清洁性能。本发明制备的金刚石薄膜可以，本发明制备的金刚石薄膜，可广泛应用于机械、工模具、刀具、汽车、电子、光学、装饰外观保护，如手表外壳、首饰配件、手机外壳等领域。