[发明专利]输送系统和输送方法在审
| 申请号： | 202011388507.0 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112992640A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 杉田吉平;永井健治 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种输送系统和输送方法。输送聚焦环的输送系统包括处理系统和位置检测系统，处理系统包括：处理装置，其具有腔室主体和包含基片载置区域及聚焦环载置区域的载置台；以及能够输送聚焦环的输送装置，位置检测系统包括：光源；构成为使光出射并且供反射光入射的多个光学元件；驱动部，其构成为使光学元件分别移动以扫描从聚焦环至基片载置区域为止的扫描范围；和控制部，其构成为按每个光学元件，基于扫描范围内的反射光计算聚焦环与载置台的位置关系，输送装置构成为基于计算出的位置关系来调节将聚焦环输送到聚焦环载置区域上的位置。根据本发明，能够提供高精度地输送聚焦环的技术。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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