[发明专利]一种建模方法有效
| 申请号： | 202011389935.5 | 申请日： | 2020-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN112541205B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 周育润;柯思羽;陈冠廷;张凱翔 | 申请（专利权）人： | 泉芯集成电路制造（济南）有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/10 | 分类号： | G06F30/10;G06F30/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李晓光 |
| 地址： | 250101 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种建模方法，包括：获取预设量测图形；在所述预设量测图形的周边设计对准图形，形成具有对准功能的中间量测图形；基于所述中间量测图形进行仿真；获取仿真后图形影像上的轮廓图形；基于所述轮廓图形和所述中间量测图形上的对准图形进行漂移校准；基于校准结果对所述预设量测图形进行模型修正，得到目标建模图形。该建模方法通过在预设量测图形的周边设计对准图形，基于该对准图形进行漂移校准，进而对预设量测图形进行模型修正得到目标建模图形，解决了现有技术中存在漂移的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 建模 方法 | ||
【主权项】：
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