[发明专利]清洁装置及曝光机在审
| 申请号： | 202011392120.2 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112657946A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 何鹏达;云家勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/04 | 分类号： | B08B5/04;B08B6/00 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 裴磊磊 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例公开了一种清洁装置及曝光机，其中，该清洁装置包括：壳体，包括底板和侧壁；吸嘴，设置在所述底板上，所述吸嘴用于将承载台上的尘粒吸入其内；静电吸附件，固定在所述壳体上，所述静电吸附件包括第一吸附部和第二吸附部，所述第一吸附部设于所述吸嘴的第一侧，所述第二吸附部设于所述吸嘴的第二侧；导出管，与所述吸嘴连接，用于将所述吸嘴内的尘粒导出。本申请实施例的清洁装置及曝光机，可以提高清洁效果。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 曝光 | ||
【主权项】：
暂无信息
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