[发明专利]一种高精度渗透标准气体发生装置及其方法在审
| 申请号： | 202011393842.X | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN112546886A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 张良;李逾晖 | 申请（专利权）人： | 杭州晟境科技有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/02 | 分类号： | B01F3/02;G01N15/08 |
| 代理公司： | 杭州万合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33294 | 代理人： | 余冬;万珠明 |
| 地址： | 310051 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度渗透标准气体发生装置及其方法，包括渗透载气流量控制器、具有温控系统的渗透室、稀释腔和稀释载气流量控制器，所述渗透载气流量控制器经渗透载气入口连通有呈三段式温控加热的第一渗透载气温控区、第二渗透载气温控区和第三渗透载气温控区；所述第三渗透载气温控区的出口经管道连接渗透室，渗透室中设有渗透管；所述渗透室的出口连接稀释腔的一个入口，稀释腔的另外一个入口与稀释载气流量控制器连接；所述稀释腔上设有标准气出口，所述第一渗透载气温控区、第二渗透载气温控区和第三渗透载气温控区的中心分别设有第一温度传感器。本发明可以产生各种不懂浓度的标准气体，具有准确性好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 渗透 标准 气体 发生 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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