[发明专利]一种化学机械抛光装置和抛光方法有效
| 申请号： | 202011396782.7 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN112405333B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 赵德文;郑广建 | 申请（专利权）人： | 华海清科（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34;B24B53/12;B24B57/02;B24B1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济技*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械抛光装置和抛光方法，所述化学机械抛光装置包括抛光盘，其顶面配置有抛光垫；承载头，用以接收晶圆并将晶圆加载于所述抛光垫；温度调节部，其设置于抛光垫的上侧，以调节与抛光垫同心的环状区域的温度；承载头旋转并沿抛光垫的径向水平移动，以控制晶圆边缘部分与抛光垫的环状区域的接触时间，调节晶圆边缘部分的去除速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 装置 抛光 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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