[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202011400336.9 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112492478B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 游振江;林育菁 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 王迎;袁文婷 |
| 地址： | 261031 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中微型麦克风防尘装置包括支撑载体和设置在支撑载体上的防尘膜；在微型麦克风防尘装置制造过程中，防尘膜设置在基板上，支撑载体设置在防尘膜远离基板的一侧；在基板上还设置有与支撑载体固定连接的锚定件，锚定件用于限位固定支撑载体和防护膜。利用上述发明能够通过锚定件对制造过程中的防尘膜及支撑载体进行临时定位，防止其在处理或转移期间从基板脱落。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 麦克风 防尘 装置 mems | ||
【主权项】：
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